合盾環(huán)保設(shè)備（上海）有限公司 I 廢水蒸發(fā)設(shè)備制造商
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1. 半導(dǎo)體工業(yè)產(chǎn)生的廢水主要來源
從半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈圖中可知，半導(dǎo)體行業(yè)廢水主要由兩部分組成，即切割研磨等工藝廢水和部件表面電鍍廢水。其中切割研磨廢水中含有大量亞微米級(jí)硅顆粒，納米級(jí)金剛沙磨料顆粒、部分清洗劑以及純水系統(tǒng)反洗RO濃水。部件表面電鍍廢水即表面處理環(huán)節(jié)產(chǎn)生的酸堿清洗廢水、含氟廢水，主要有酸、堿及錫、鉛、銅、鎳等金屬離子，有機(jī)物和有機(jī)絡(luò)合物等污染物。
半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈圖（圖片來源于互聯(lián)網(wǎng)，如有問題聯(lián)系作者刪除）
2. 從法規(guī)和企業(yè)生存發(fā)展及企業(yè)的社會(huì)責(zé)任的角度看，半導(dǎo)體行業(yè)廢水處理的必要性
在努力發(fā)展國家生產(chǎn)力的同時(shí)，也要有效保護(hù)和利用我們的資源。堅(jiān)持節(jié)約優(yōu)先，加強(qiáng)源頭管控，轉(zhuǎn)變發(fā)展方式，推動(dòng)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)智能化、清潔化改造，加快發(fā)展節(jié)能環(huán)保產(chǎn)業(yè)，全面節(jié)約能源資源，協(xié)同推動(dòng)經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展和生態(tài)環(huán)境高水平保護(hù)是我們國家的環(huán)保綠色發(fā)展方式。半導(dǎo)體行業(yè)作為國家計(jì)算力的基石，企業(yè)如要在發(fā)展也要遵循這一原則。其廢水中所含重金屬及其他污染物必須進(jìn)行有效處理，合格達(dá)到行業(yè)廢水排放標(biāo)準(zhǔn)方可排放。
隨著行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力度加大，芯片工藝要求提升，制造難度復(fù)雜，技術(shù)創(chuàng)新的同時(shí)，企業(yè)需精密且精確的計(jì)算到每片芯片所耗費(fèi)的成本，才能在行業(yè)綜合競(jìng)爭(zhēng)中取得優(yōu)勢(shì)。半導(dǎo)體行業(yè)作為一個(gè)大量耗水和危廢排放的行業(yè)，擁有先進(jìn)穩(wěn)定的中水回用系統(tǒng)及廢水處理系統(tǒng)，大量節(jié)約人力、用水能耗，委外處置費(fèi)用，更易達(dá)到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，提高企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力，在上下游競(jìng)爭(zhēng)中，更具優(yōu)勢(shì)。
3. 以半導(dǎo)體含鎳廢水為例，企業(yè)廢水處理面臨的挑戰(zhàn)
鑒于以上因素，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)廢水回收利用及達(dá)標(biāo)處理非常重視。但是在實(shí)際處理中，企業(yè)廢水處理及回用面臨各項(xiàng)挑戰(zhàn)。以半導(dǎo)體含鎳廢水處理為例，傳統(tǒng)處理電鍍表面處理廢水主要使用化學(xué)還原，沉淀，吸附、微電解、蒸發(fā)以及離子交換等方法。此類處理方法由于處理工藝環(huán)節(jié)多，流程繁瑣，需要占用大量空間及人力成本。特別是化學(xué)法，需要額外增加大量氫氧化鈉絮凝劑等藥劑，次生出大量有害重金屬泥，增加委外處置費(fèi)用。 由于人工參與多，工藝長且操作復(fù)雜，導(dǎo)致最終出水質(zhì)量不穩(wěn)定，無法完成對(duì)處理后凈水資源利用，不達(dá)標(biāo)廢液一旦排出，企業(yè)又將面臨高額罰款或追究法律責(zé)任的風(fēng)險(xiǎn)。
經(jīng)過傳統(tǒng)工藝處理后，產(chǎn)生的一部分濃廢液，企業(yè)一般采取危廢委外處置處理。近5年來我國因”“兩高”司法解釋和新環(huán)保法的橫空出世，危廢處置量迅猛增長，對(duì)有資質(zhì)處置危廢的企業(yè)需求不斷增加，但是由于危廢業(yè)處理技術(shù)資質(zhì)規(guī)模均有較高的要求，從事相關(guān)行業(yè)的企業(yè)數(shù)量和體量不足，危廢處理能力存在缺口。危廢處置的不均衡，導(dǎo)致危廢委外費(fèi)用居高不下。以含鎳廢水委外價(jià)格為例，根據(jù)合盾公司相關(guān)行業(yè)客戶調(diào)查數(shù)據(jù)可知，綜合廢水濃度不同及地區(qū)差異因素，委外費(fèi)用最高可達(dá)9000元/噸。以每天產(chǎn)生2T化學(xué)鎳廢液為例，單化學(xué)鎳廢水處理一項(xiàng)，企業(yè)年委外成本約為500萬元，加上其他廢水處置成本，企業(yè)需支付大量資金成本來保證生產(chǎn)經(jīng)營。
4. 針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)廢水特點(diǎn)，合盾采用EV系列設(shè)備，以蒸發(fā)濃縮方式處理此類廢水，幫助客戶解決廢水處理難題同時(shí)降低企業(yè)處理費(fèi)用。
合盾自2011年成立以來專注工業(yè)廢水處理設(shè)備研發(fā)及生產(chǎn)，積累了大量廢水處理經(jīng)驗(yàn)。根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)廢水特點(diǎn)，以熱泵或MVR原理，研發(fā)制造出EV系列蒸發(fā)處理設(shè)備，減少處理環(huán)節(jié)，撬裝結(jié)構(gòu)，體積小，操作便捷，更易于半導(dǎo)體行業(yè)廢液安全智能穩(wěn)定處理。
此系列設(shè)備，以真空蒸發(fā)方式，配合合盾強(qiáng)制循環(huán)系統(tǒng)，選用國外原裝進(jìn)口組件，保障設(shè)備出水質(zhì)量及廢水濃度率。對(duì)于含銅，鎳，錫等重金屬廢水可根據(jù)企業(yè)環(huán)評(píng)要求分流處理或綜合處理；含氟廢水，進(jìn)行除氟后，設(shè)備選用耐腐蝕材質(zhì)處理；研磨及反滲透RO濃水，前置過濾系統(tǒng)，搭配不同設(shè)備模塊綜合處理。通過蒸發(fā)濃縮處理后，廢液濃縮率最高可達(dá)95%，出水不含重金屬，簡(jiǎn)單過濾后即可回用工廠，實(shí)現(xiàn)企業(yè)內(nèi)水資源循環(huán)利用，廢水處理成本大大減少。
以上海某半導(dǎo)體公司500L/D 硅片表面處理產(chǎn)生的化學(xué)鎳廢液廢水量為例，月委外含鎳廢液約15T，選用EVLO-25熱泵強(qiáng)制循環(huán)蒸發(fā)器，蒸發(fā)濃縮處理后，濃縮率達(dá)到80-85%，蒸餾水出水經(jīng)檢測(cè)不含重金屬，經(jīng)過碳濾處理后排入污水處理站，月委外鎳濃廢液減少至2噸，大幅降低客戶鎳廢液委外費(fèi)用。EVLO系列是熱泵系列強(qiáng)制循環(huán)蒸發(fā)器，特別適用于溶解固含量高及對(duì)溫度敏感性高的液體，通過選用不同材質(zhì)，可以處理部分具有腐蝕性的含鹽廢水(例如酸性PH ，含氯含氟，重金屬等廢水）。此設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，人工點(diǎn)檢操作，占地面積不到5平方，獲得客戶好評(píng)。
合盾蒸發(fā)設(shè)備處理半導(dǎo)體行業(yè)化學(xué)鎳廢液效果圖
5.結(jié)論
半導(dǎo)體的發(fā)展，為人類計(jì)算力解放做出巨大貢獻(xiàn)，未來隨著科技的發(fā)展這一行業(yè)還將大放異彩。半導(dǎo)體企業(yè)因生產(chǎn)材料和工藝決定其產(chǎn)業(yè)會(huì)產(chǎn)生一系列廢水，傳統(tǒng)廢水處理方法，已無法滿足現(xiàn)階段環(huán)保及生態(tài)要求，更環(huán)保，更經(jīng)濟(jì)，更智能的幫半導(dǎo)體企業(yè)解決其生產(chǎn)工藝產(chǎn)業(yè)鏈的廢水處理難題，對(duì)于我國半導(dǎo)體行業(yè)快速發(fā)展具有重要意義。合盾蒸發(fā)設(shè)備目前已在半導(dǎo)體大廠推廣應(yīng)用，幫助企業(yè)減少廢水處理壓力，同時(shí)達(dá)到工藝水循環(huán)利用或達(dá)標(biāo)排放，助力半導(dǎo)體企業(yè)集中優(yōu)勢(shì)資源，增加市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。未來半導(dǎo)體發(fā)展，值得我們期待。
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