半導(dǎo)體單晶硅片—生產(chǎn)廢水處理
項(xiàng)目背景
客戶屬于半導(dǎo)體材料大型生產(chǎn)企業(yè),產(chǎn)品包含區(qū)溶硅單晶、直拉硅單晶、多晶硅、太陽能單晶硅棒、硅片等。本項(xiàng)目主為解決要生產(chǎn)硅片清洗水達(dá)標(biāo)排放問題。此次為擴(kuò)建技改項(xiàng)目,為改進(jìn)技術(shù),采用先進(jìn)工藝技術(shù)和設(shè)備,從源頭削減污染,提高資源利用率,減少污染物排放,以達(dá)到清潔生產(chǎn)的目的
企業(yè)面臨的挑戰(zhàn)
企業(yè)內(nèi)建有廢水站,傳統(tǒng)處理方式,對化學(xué)鎳廢液處理效果不理想,酸堿廢水中含有COD,BOD,氨氮,石油類,總磷等物質(zhì),廢水處理后需達(dá)到三?級排放標(biāo)準(zhǔn),企業(yè)危廢處置成本增加。
待處理水量及委外成本
廢水:硅片產(chǎn)線清洗廢水
廢水水量約:2T/D
委外處理成本:約3500元/噸。
年處理費(fèi)用約:210萬
優(yōu)勢:
● 占地面積小,易清潔維護(hù)
● 自動化程度高,減少人工操作
● 蒸餾水出水質(zhì)量穩(wěn)定,節(jié)省水資源
● 廢水處理的工序安全和運(yùn)行安全
● 減少能源和運(yùn)營成本
● 廢棄處理量減少至最小倍數(shù)
1.收集廢液濃縮液收集進(jìn)入至廢水存儲池內(nèi),中和廢液,調(diào)節(jié)PH值后
2.中和后廢液經(jīng)過濾器,去除固體顆粒物及雜質(zhì)
3.過濾后廢液進(jìn)入EVLO-100+EVLS-25 進(jìn)行蒸發(fā)濃縮結(jié)晶處理
4.蒸餾水排至廠區(qū)廢水站。
5.蒸發(fā)后濃縮結(jié)晶泥收集至污泥車,減少危廢體積,委外處理。
廢水水質(zhì)處理前后數(shù)據(jù)
廢水蒸發(fā)濃縮 & 濃縮液減量
解決方案:
| 水質(zhì)指標(biāo) | 處理前廢水指標(biāo) | 處理后廢水指標(biāo) |
| PH | 7.7 | 8.75 |
| CND | 205.3ms/cm | 543.9us/cm |
| TDS | 103.2g/L | 271.9mg/L |
| COD | 13350mg/L | 350mg/L |
| 重金屬 | 超檢測上限 | 未被檢出 |
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項(xiàng)目實(shí)施效果:
項(xiàng)目安裝運(yùn)行 & 經(jīng)濟(jì)效益分析
1.蒸發(fā)設(shè)備處理濃廢水量約1.5-2噸/天(一天20小時(shí)運(yùn)行狀態(tài))。
2.設(shè)備調(diào)試后穩(wěn)定運(yùn)行1年,
3.廢水蒸發(fā)濃縮比約提高為85%
4.設(shè)備僅1名操作點(diǎn)檢維護(hù)人員
5.年節(jié)約廢水委外費(fèi)用約160萬
6.蒸餾水出水穩(wěn)定合格,排入廢水站
7.污水在減排零排方面做到了達(dá)標(biāo)
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